配氣裝置的主要工作原理

    配氣裝置主要是針對(duì)實(shí)驗(yàn)室及各種環(huán)境下所需要的模擬氣體成分。依據(jù)比例自行設(shè)置混合輸出的裝置。主要核心部件為質(zhì)量流量控制器，利用其高精度、高準(zhǔn)確性的特點(diǎn)，精確控制各個(gè)氣體組成成分的輸入量，經(jīng)由專業(yè)設(shè)計(jì)及生產(chǎn)的混氣腔室后輸出。

特氣自動(dòng)配氣（稀釋）裝置?

使用氣體：硅烷、硼烷、磷烷、氯氣等特殊氣體?工作壓差：（0.1~0.3）Mpa?最高使用壓力：1Mpa?

單元控制精度：±1%S.P（設(shè)定點(diǎn)）?工作溫度：?-20℃~70℃?單元流量：2SCCM??~?10SLM?

主要技術(shù)特性

流量范圍：（樣氣＋稀釋氣）（0－5000）ml/min （任選）

濃度范圍：通過(guò)選擇組分氣體的含量便可配制出10-8－百分含量的任何標(biāo)準(zhǔn)氣體，隨意可調(diào)

流量精度（重復(fù)性）：＜0.5%

轉(zhuǎn)換濃度響應(yīng)時(shí)間：＜60s

配氣不確定度：＜1.5%

預(yù)熱時(shí)間：＜30min

使用環(huán)境溫度：0～40℃（最佳溫度25±5℃）

尺寸：450×400×180mm

電源：220VAC    50/60Hz