在線配氣裝置的技術參數(shù)

技術參數(shù)

1、混氣裝置：采用異形氣體混合倉與氣體擾流板技術

2、控制系統(tǒng)：全自動控制，并可對配氣方案進行程序控制，實現(xiàn)流量、使用氣體、使用時間的隨意編程

3、氣路系統(tǒng)：使用316L不銹鋼管路及卡套式連接方式，使系統(tǒng)耐腐蝕、氣密性好

4、氣路控制系統(tǒng)：使用日本SMC電磁閥，并為每個氣路設置單向閥，已防止氣體逆行，所有電磁閥均由軟件控制

5、配氣方案：可根據(jù)求，實現(xiàn)對每組氣體的流量進行編程調整，即流量的多段控制

6、應用氣體：氨氣、氮氣、丙烷、乙炔、丙炔、二氧化硫、二氧化碳、二氧化氮、甲烷、氪氣、氯化氫、氧氣、氫氣、一氧化氮、一氧化碳等

7、流量控制：0-200毫升/分鐘、100-500毫升/分鐘、500—1000毫升 /分鐘可選

8、工作壓差：(0.1 ~ 0.5)  MPa

9、工作耐壓：3  MPa

10、重復精度：±0.2  %

11、工作精度：±1  %

12、工作溫度：5 ℃ ~ 45 ℃

大連八方流體技術有限公司以全面、細致、周到的技術服務為企業(yè)核心，專業(yè)從事為普、特氣體的供氣系統(tǒng)及控制設備提供研制開發(fā)、制造安裝等技術服務。并為國內外知名品牌的產(chǎn)品提供代理及相關的技術服務。其業(yè)務范圍涵蓋半導體、航天、制藥、工業(yè)制造、化工、科研試驗及檢測機構等廣泛領域。所研發(fā)生產(chǎn)、代理選擇的產(chǎn)品和提供的相關技術服務包括：半導體、微系統(tǒng)制造研究、科研機構和試驗檢測機構、工業(yè)制造業(yè)用自動、半自動和手動控制的各種供氣系統(tǒng)、匯流排、吹掃切換裝置、氣源柜、還原中和裝置、流量控制裝置及管理控制設備等；專業(yè)氣體公司用高精度（ppm級）特氣配氣裝置及相關流量調節(jié)裝置、真空成套設備、自動計量測控系統(tǒng)等。