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氣源柜保證高純易燃易爆腐蝕有毒氣體安全,需要哪些主要技術(shù)特點(diǎn)

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氣源柜保證高純易燃易爆腐蝕有毒氣體安全,需要哪些主要技術(shù)特點(diǎn)

發(fā)布日期:2015-12-24 00:00 來源:http://43vi.cn 點(diǎn)擊:

氣源柜

氣源柜保證高純易燃易爆腐蝕有毒氣體安全,需要哪些主要技術(shù)特點(diǎn)

氣源柜/氣瓶架采用國(guó)際通行的質(zhì)量標(biāo)準(zhǔn)及工作原理,保證高純易燃易爆腐蝕有毒氣體安全地為相應(yīng)的設(shè)備提供工藝氣體。  


功能:正常工藝供氣、換瓶的抽空回充、工藝結(jié)束的排空回充及正常使用的工作狀態(tài)指示、異常報(bào)警(如負(fù)壓異常、泄露、煙霧火等等)及相應(yīng)的安全關(guān)聯(lián)響應(yīng)等。排空一般采用的是文丘里原理(根據(jù)客戶要求可采用真空泵排空方式等)。 裝有安全防爆玻璃,氣路管件均采用進(jìn)口優(yōu)質(zhì)的管道(EP級(jí)SWAGELOK自動(dòng)軌道焊接等)、閥門、VCR接口均采用SWAGELOK、 PARK及APTECH ,泄漏檢測(cè)、延誤火報(bào)警均采用優(yōu)質(zhì)品牌。  


主要技術(shù)特點(diǎn)  

◆按瓶數(shù)分類:?jiǎn)纹抗瘢埽?二瓶柜(架)/三瓶柜(架)/四瓶柜(架)  

◆按氣體分類:氣瓶柜(易燃易爆腐蝕有毒高純氣體)、氣瓶架(高純氣體,如高純氧氣、氬氣等)  

◆完善的安全報(bào)警裝置,具有氣體泄漏檢測(cè)報(bào)警(如SiH4、PH3、HCL等泄漏報(bào)警)、煙霧、火報(bào)警等  

◆氣瓶柜留有排氣口,并具有負(fù)壓檢測(cè)  

◆氣路設(shè)計(jì)合理完善,工作管路具備抽空、回充、壓力指示等功能  


備用

設(shè)備用的滑軌結(jié)構(gòu)

一種開關(guān)設(shè)備用翻轉(zhuǎn)頂蓋

寒冷環(huán)境下施工設(shè)備用冷卻水防凍裝置

激光燒結(jié)設(shè)備用激光掃描頭及激光燒結(jié)設(shè)備

一種高溫高壓設(shè)備用合成塊結(jié)構(gòu)

一種電動(dòng)車應(yīng)急備用裝置

一種涂裝自動(dòng)化設(shè)備用螺桿張緊機(jī)構(gòu)

一種具有備用卸料口的罐式集裝箱

一種電解鋁設(shè)備用除塵器的蓋體

一種金屬設(shè)備用防銹劑


氣源柜作為等離子刻蝕、化學(xué)氣相沉積、金屬濺射、實(shí)驗(yàn)室檢測(cè)設(shè)備等的工藝氣供氣氣源裝置,適合于輸送高純、有毒、易燃易爆、具有一般腐蝕性的介質(zhì)。根據(jù)不同使用要求可配置為手動(dòng)、自動(dòng)控制方式,及高沸點(diǎn)介質(zhì)加溫裝置。 貯氣罐適用于貯存具有高純、有毒、易燃易爆、一般腐蝕性的半導(dǎo)體工藝氣、混合氣、標(biāo)樣氣等。

相關(guān)標(biāo)簽:氣體純化裝置

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